Research Hub

대학 자원

대학 인프라와 자원을 공유해 공동 연구와 기술 활용을 지원합니다.

Loading...

공동활용 연구장비

20091201000000051509.jpg

직류/교류 마그네트론 스퍼터링 시스템

상담·문의하기

DC/RF Magnetron sputter system

  • 모델명 RSP5004
  • 제조사 에스엔텍
  • 장비용도 분석
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 스퍼터

상세정보

구축일자 2009-09-15
납품업체 에스엔텍
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 1 광주과학기술원 신소재공학동 F2 207
구성및성능
장비안내 특징
그래핀 실험시 필요한 다양한 유전체 금속 박막 (Si Ge Ni W Al C HfO2 SiGeC SiGe)을 순도높게 형성하기위해 필수적인 장비로서 간단한 박막 조성 및 관련 alloy 박막을 제작하기위해 고진공에서 DC 또는 RF sputtering이 가능한 장비.