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공동활용 연구장비

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레이저 열처리 챔버

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Laser Beam Stage System

  • 모델명 모델명 없음
  • 제조사 (주)엔씨디
  • 장비용도 분석
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 열유체장비 > 전기/소결로

상세정보

구축일자 2009-11-04
납품업체 (주)엔씨디
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 1 광주과학기술원 금호연구관 F2 204
구성및성능 Laser Beam Stage System
-Main Chamber
-Substrate heater
-XY Stage
-MFC: Ar N2 Ch4
-read out box: 3ch
-Rotary pump
-Low vac. Gauge
-Roughing line with A/V
-PC control
-Frame (up-down fuction)
장비안내 특징
레이저를 이용한 대면적 그래핀 형성 실험을 위해 진공상에서 기판의 온도와 열처리 가스 분위기를 조절하면 레이저 열처리를 수행하는 chamber임.

시편상의 다양한 위치를 레이저로 열처리할 수 있도록 시편을 올려두는 chuck의 위치는 레이저 빔의 센터를 중심으로 50mmx50mm영역을 움직일 수 있고 시편의 가열 냉각속도도 중요한 실험의 변수가 되므로 규격에 맞도록 제작됨.

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