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공동활용 연구장비

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정밀 반도체 분석장비

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Precision Semiconductor Parameter Analyzer

  • 모델명 4156C
  • 제조사 Agilent Technologies
  • 장비용도 계측
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 프로브스테이션

상세정보

구축일자 2009-07-28
납품업체 Agilent Technologies
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 1 광주과학기술원 신소재공학동 F2 204
구성및성능 구성및성능
- Main System
P Max. Current source range : 100nA to 100 mA
P Voltage source range : 200mV to 200V
P Current Measurement Resolution : 0.10 fA
P Voltage Measurement Resolution : 1 gV
P Voltage Source Resolution : 5 gV
P Maximum output Voltage : 200V
장비안내 특징
반도체 나노 LCD LED 등의 전기적 물성 및 특성을 측정하는 장비임. 초저전압 인가 및 측정(1?gV;10-6A) 과 초 저전류 인가 및 측정(0.10 fA) 이 가능하며 Probe station을 사용하여 Wafer 및 Device 상태에서의 모든 측정이 가능함. 상기 모델은 측정된 값을 저장하거나 도표로 표현하여 주는 기능이 포함되어 있어 일반적으로 여러 실험실과 분석실에서 사용되는 장비임.

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