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미세소자 제작용 고진공장치

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Turbo Molecular Pump

  • 모델명 ATH1600MT
  • 제조사 Alcatel-lucent
  • 장비용도 시험
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 열유체장비 > 펌프

상세정보

구축일자 2009-07-09
납품업체 Alcatel-lucent
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 1 광주과학기술원 다산빌딩 B1층 2호실
구성및성능 구성및성능
* TURBO MOLECULAR PUMP MODEL : ATH1600MT
- ULTIMATE PRESSURE : 6 * 10-9 mbar
- PUMPING SPEED : 1500 L/sec (N2)
- COMPRESSION RATIO : 6 * 107
- ACT CONTROLLER MODEL : ACT1300M

* DRY PUMP MODEL : ADP122P
- ULTIMATE PRESSURE (NO PURGE) : 1.5 * 10-2 mbar
- PUMPING SPEED : 112M3/H

* DRY PUMP MODEL : ACP28
- ULTIMATE PRESSURE : 3 * 10-2 mbar
- PUMPING SPEED : 27M3/H
- Cooling Water (PCW) Input Pressure : 5.5~6 bar
- Dry Nitrogen Input Pressure :
1) 1.5 bar (+/-0.3bar) for Main System
2) 2bar ~ 7bar for ADP122P
- Dry Compressed air Input Pressure : 6 Bar(+/-0.5bar)
장비안내 특징
본 연구기자재는 의료진단 및 치료용 마이크로 소자제작을 위한 고진공장비로서 소자를 제작할 때 공정의 안정성을 높이고 Particulate를 현격히 개설할 수 있음.

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