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공동활용 연구장비

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진공증착기 내장형 글로브 박스

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Vaccum Evaporator with

  • 모델명 Glove Box
  • 제조사 우성하이백
  • 장비용도 생산
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 열유체장비 > 글로브박스

상세정보

구축일자 2009-01-12
납품업체 우성하이백
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 1 광주과학기술원 신재생에너지연구소 F4 417
구성및성능 구성및성능
Glove box (질소)
진공 열 증착기 (10^-7 Torr 이하)
다중 열증착 시스템
장비안내 특징
질소 분위기에서 소자를 제작할 수 있는 장치
수분이나 산소 이산화탄소 등에 민감한 물질을 취급할 때 산화 및 오염을 방지하기 위해 상자 내부를 질소나 아르곤으로 환경으로 유지하고 작업을 위해 고무장갑이 부착되어 있는 상자형 장치. 유기반도체 재료는 대기 중에서 다루어지는 경우 산화에 따른 오염 및 훼손의 위험이 있음. 이러한 문제를 해결하기 위해 대기와 차단할 수 있는 실험장치가 필요함. 또한 대기 중의 수분이나 산소에 민감한 알카리 토금속류의 금속재료를 기판에 증착시키기 위해서는 일반적인 대기 중에서의 취급은 불가능하며 질소나 아르곤 분위기에서 취급해야만 하므로 이 장치는 이러한 용도로 활용할 수 있는 장비로써 재료의 보관 및 전 후처리 공정에 필수적인 장치. 특징으로는 특화된 밀폐기술로 상용품 중 가장 낮은 누출속도 0.001vol%/h 특화된 기체정화기술로 우수한 정화효율 실현 전체적인 Stainless Box 로 부식저항성 강화실현 빠른 수분과 산소제거 등이 있음.

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