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공동활용 연구장비

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다용도 글로브 박스 및 진공 증착 시스템

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Multi Glove box &Thermal Evaporation sysem

  • 모델명 Woosung-Multi Glove box
  • 제조사 우성하이백
  • 장비용도 생산
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 열유체장비 > 글로브박스

상세정보

구축일자 2007-12-21
납품업체 우성하이백
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 1 광주과학기술원 신재생에너지연구소 F5 415
구성및성능 구성및성능
본 장비는 유기 반도체 소자의 준비 및 박막 제작 증착 및 성능 평가가 가능하도록 두 개의 글로브 박스가 연결된 구조로 이루어져 있으며 1번 글로브 박스에서는 소자의 제작 2번 박막에서는 전극의 증착 및 증착 후 산소배제 분위기에서 성능을 평가할 수 있도록 공간 및 관련 장비의 수용이 가능하도록 구성되어 있다.
장비안내 특징
본 장비는 최근 많은 각광 받고 있는 신소재인 유기물 반도체 물질을 이용해서 유기물 전자소자나 광전자소자를 제작하고 이에 대한 특성을 평가하여 장비이다. 그런데 이러한 유기물들은 산소와 수분에 매우 민감하게 반응하여 쉽게 변질되고 소자제작 시 산소와 수분에 의해 소자의 성능이 저하되는 치명적인 약점을 가지고 있다. 따라서 이러한 약점을 극복하고 성공적인 연구를 수행하기 위해서는 소자제작과정에서 산소와 수분을 제거해야 하며 이러기 위해서는 산소배제 상태를 만들어 주는 글로브 박스가 필요하다.
본 장비는 유기물 반도체를 이용한 소자의 제작 및 성능 평가를 수분을 제거한 분위기에서 가능하도록 특성평가용 글로브 박스 시스템과 글로브 박스 시스템 내부에 증착기를 설치하여 소자의 전극을 증착한 후 산소 배제 분위기에서 성능 평가가 가능하도록 설계가 되었다.

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