Research Hub

대학 자원

대학 인프라와 자원을 공유해 공동 연구와 기술 활용을 지원합니다.

공동활용 연구장비

20071228000000005231.jpg

3차원 미세 위치 정밀 제어기

상담·문의하기

XYZ Nano Positioning system

  • 모델명 PI nano
  • 제조사 Physik Instrumente (PI)
  • 장비용도 분석
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 자동화/이송장비 > 위치제어장비

상세정보

구축일자 2007-06-26
납품업체 Physik Instrumente (PI)
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 1 광주과학기술원 고등광기술연구소 F4 405호
구성및성능 구성및성능
나노 미터 단위의 3차원 위치 제어(나노미터 분해능의 위치 제어 및 정렬)
3 출 위치 제어 Closed-loop travel length : 200 μm(X축) 200 μm(Y축) 20 μm(Z축;수직 축) 이상 Closed/open-loop resolution : 2 nm 이하 (X Y축) 0.1 nm 이하(Z축)
Close-loop travel : 300 × 300×300 um open-loop ** resolution : 1nm Dynamic operating current coefficient(DOCC) : 3.1 3.1 6.2 uA Unloaded resonant frequency (f0) : 120 120 240 kHz
장비안내 특징
3차원 나노 위치 제어 시스템.
구성및성능
나노 미터 단위의 3차원 위치 제어(나노미터 분해능의 위치 제어 및 정렬)
3 출 위치 제어 Closed-loop travel length : 200 μm(X축) 200 μm(Y축) 20 μm(Z축;수직 축) 이상 Closed/open-loop resolution : 2 nm 이하 (X Y축) 0.1 nm 이하(Z축)
Close-loop travel : 300 × 300×300 um open-loop ** resolution : 1nm Dynamic operating current coefficient(DOCC) : 3.1 3.1 6.2 uA Unloaded resonant frequency (f0) : 120 120 240 kHz

목록보기