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공동활용 연구장비

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진공 컨트롤러

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Vaccum Component

  • 모델명 Vacuum Component
  • 제조사 우신크라이오백
  • 장비용도 분석
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 진공반송장비

상세정보

구축일자 2007-02-09
납품업체 우신크라이오백
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 1 광주과학기술원 금호관 F2 204
구성및성능 # Touch screen이 부착되어있어, vacuum 상태를 control 하기 쉬움.
# Pendulum Gate Valve
* ISO250A
* Leak Rate : < 1 x 10(-5) mbar/s
* Life Time : 1,000,000
* Temperature(Valve Body) : ≤ 150 ℃
* Connection Actuator : Step Motor
* Pressure Controller
- Control : Local & Remote
- RS232
- Control Method : PID Control Algorithm
- Resolution : 0.1% of the Sensor Full Scale Range
* ISO 250 Adaptor
# High Precision XYZ Manipulator
* Mounting Flange : 6" CF
* Travel Length : 6" ( with Welded Bellows)
* XY Travel Length : ±12.5mm
* Rotary Drive

활용분야
# Pendulum Gate Valve
Gate Valve의 역할과 Throttle Valve의 역할을 동시에 하는 Vacuum Gauge의 값을 읽어 원하는 진공도를 맞추는 역할을 한다.
# High Precision XYZ Manipulator
Sample을 정밀하게 X, Y, Z 축으로 움직이는 역할을 하는 제품이다.
정밀한 Resolution (1/100)으로 Sample과 Source 간의 각도 및 위치를 맞출 수 있다.
장비안내 특징
# Pendulum Gate Valve
진공도를 수동이 아닌 자동으로 맞추어 주므로 시간절약 및 정확한 데이터를 얻을 수 있음
# High Precision XYZ Manipulator
정밀한 Resolution (1/100)으로 Sample과 Source 간의 각도 및 위치를 맞출 수 있으므로, 더욱 Uniform한 Sample을 얻을 수 있다.

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