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공동활용 연구장비

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공동 다기능 증착 장비

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Multi Evaporator System

  • 모델명 GVTE-4000
  • 제조사 지브이텍
  • 장비용도 생산
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 열증착기

상세정보

구축일자 2005-11-14
납품업체 지브이텍
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 1 광주과학기술원 신재생에너지연구소 F4 401
구성및성능 구성및성능
Organic process chamver unit Metal process chamber unit High Vacuum pump Transfer loading system
장비안내 특징
유기물 증착장비 및 금속 증착 장비 고진공 하에서 외부노출 없이 이동 가능 (transfer arm 장치 부착) 다양한 온도 조건하에서 소자제작이 가능
박막의 특성 연구 및 소자 개발을 위한 연구 개발용 다층 박막이 제작이 가능한 증착 시스템. 금속 또는 유기물 재료를 열원에 의해 녹이고 이것을 비산시켜 박막을 만듦. 금 은 구리 알루미늄 등의 다양한 금속과 여러 가지 저분자 유기물을 증착할 수 있음. 각 시료들을 선택적으로 사용 가능하도록 여러개의 소스가 있으며 소스 가리개와 샘플가리개가 설치되어있음. 고진공 유지를 위해 터보펌프과 로터리펌프 배기 라인을 기본으로 하며 증착 속도 및 두께를 측정하기 위한 모니터가 설치되어 있음. 신소재 및 신 물질 박막 제조 센서 및 전자 부품 개발 반도체 화합물 개발 등의 연구에 사용됨.

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