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공동활용 연구장비

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필름 처리용 장비

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Film Tratment Equipment

  • 모델명 모델명 없음
  • 제조사 Jelight
  • 장비용도 생산
  • 장비구분 화합물전처리/분석장비 > 달리분류되지않는화합물전처리/분석장비

상세정보

구축일자 2006-05-18
납품업체 Jelight
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 1 광주과학기술원 신재생에너지연구소 F4 417
구성및성능 - 광역부위에 적용이 가능
- 습식세정보다 편리하고 건식세정으로 폐액처리 등으로 인한 처리비용 감소
- 플라즈마 장비에 비해 가격이 싸고 장치가 단순
- 비 접촉 방식으로 표면에 전혀 손상을 주지 않음
- 노출 시간 조절을 위한 Digital Timer
- 안전을 위한 자동 잠금 및 Lamp off 장치
- 빠른 세정 속도(1분 미만)
- 고효율 저 전압 Grid 수은등
장비안내 표면 이물질을 자외선과 오존으로 활성화 시켜 제거하는 장치로써 기본원리는 UVO(자외선오존)세정은 일련의 광산화 (Photosensitized oxidation) 과정. 산소분자가 184.9nm의 자외선에 의하여 해리되고 오존(O3)은 253.7nm의 자외선에 의해 원자상태의 산소가 만들어짐. 한편 불순물들은 단파인 자외선을 흡수하면서 활성화 되어 해리되고 다시 산소원자와 결합하여 휘발성 분자로 바뀌어 표면에서 제거됨.

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