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공동활용 연구장비

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박막 두께 측정기

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Surface Profiler

  • 모델명 surfcorder ET 3000
  • 제조사 Kosaka
  • 장비용도 계측
  • 장비구분 물리적측정장비 > 길이/위치/자세측정장비 > 위치/자세측정장비

상세정보

구축일자 2006-09-12
납품업체 Kosaka
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 1 광주과학기술원 신재생에너지연구소 F4 416
구성및성능 Max. Scan Length : 30 mm (Linear)
- Max. Data Points : 60000
- Stylus Force : 0.05~10 mg (Programmable)
- 2.0 um Stylus Tip Radius Standard
- Color Camera with Fixed Zoom 100X
- Sample Thickness : 20 mm Max.
- Sample Size : 140 mm diameter Max.
- Sample Translation : Manual Stage
- Vertical Range : 100 um Max.
- Vertical Resolution at Varying Vertical Ranges
: 1 at 10 um 15 at 100 um
- 30 Analytical Functions and Height Histogram
- 10 Repeatability
- Power 220 V 60 Hz
- Intel Processor Computer with Windows XP
장비안내 유기 반도체나 고분자 절연층 박막의 비파괴 표면 단층 분석을 높은 분해능으로 가능케 함. 또한 고분자 박막의 두께를 수 단위까지 정밀하게 측정하여 박막의 정전기적 기계적 열적 특성 분석을 보다 정밀히 수행하는데 기여함.

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