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공동활용 연구장비

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주사전자현미경

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Scanning Electron Microscope

  • 모델명 TS 5130 LS
  • 제조사 TESCAN, sro
  • 장비용도 시험
  • 장비구분 광학/전자영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경

상세정보

구축일자 2006-08-09
납품업체 TESCAN, sro
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 1 광주과학기술원 신소재공학동 F5 506
구성및성능 [구성]
- Spatial Resolution SEI : 3.0nm or better
- Acceleration Voltage Range : 200Vto30kV continous or better
- Probe current Range : 1pA to 2μA continous or better
- Magnification Range : 4× to 1000000 or better
[성능]
1. This is a family of high-quality fully PC-controlled scanning electron microscopes and networking offering a comprehensive range of sophisticated features.
2. Motorized specimen stage (Accuracy : Less than 1㎛)
3. Flicker-free imaging with super clarity and grilliance as a result of the high quality digital image acquisition and processing system.
4. Quick and easy achivement of a clean working vacuum by means of fully automatic turbomolecular-pumped vacuum system on high vacuum and variable vacuum models.
장비안내 [특징]
Vega SEM TS5130LS는 나노크기의 시편관찰 뿐만 아니라 e-beam lithography 장비와 연계하여 본 장비에서 방출되는 전자빔을 이용하여 나노크기의 패터닝이 가능하다.

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