Research Hub

대학 자원

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공동활용 연구장비

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푸로브 스테이션

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Probe Station

  • 모델명 MS8000
  • 제조사 Mmu Semicon
  • 장비용도 계측
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 프로브스테이션

상세정보

구축일자 2007-06-15
납품업체 Mmu Semicon
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 1 광주과학기술원 신재생에너지연구소 F4 415
구성및성능 - 6 vacuum low noise chuck
Dual vacuum on/off switch
- 6"x6" stage X-Y manual fine motion
Knob control unit
- 1"x1" X-Y microscope translation manual
type
- Platen-aluminuim up/down fine control
micrometer knob

Microscope mount-olympus (～80X)
- Microscope mount high resolution
- Eyepiece : 20X -dual
- Zoom ( 1～4X)
Total magnification : (～80X)
- LED illuminator volum control type
장비안내 4단자의 탐침 모듈과 지지대 그리고 소자 선반으로 이루어진 장치. 마이크로 사이즈의 미세전극을 쉽게 접촉시킬 수 있으며 측정이 매우 세밀하게 이루어져 미세 전류 값을 외부 영향에 의한 왜곡 없이 측정할 수 있도록 해줌. 또한 고배율 현미경이 장착되어 있어서 시각적으로 소자의 상태를 확인할 수 있어 소자의 전기적 특성을 측정하는데 용이함.

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