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공동활용 연구장비

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Effusion cell & Rheed system module

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Effusion cell & Rheed system module

  • 모델명 RD-301
  • 제조사 브이에스아이(Vsi)
  • 장비용도 분석
  • 장비구분 물리적측정장비 > 표면특성측정장비 > 표면장력/접촉각측정장비

상세정보

구축일자 2004-12-12
납품업체 브이에스아이(Vsi)
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 1 광주과학기술원 금호관 F2 204
구성및성능 Type: switching power
Dimensions: 19 x 7 x 13 inch (W x H x D)
Readouts: digital, LED display for each function
Output energy: 30 kV, 1 mA Max.
Filament Power: Max 3 A
Stability: Less then 0.05 %
Magnet Power: Focusing ？ 0~3 A
Deflection: 0~0.5 A
Protection
4-external interlock
Soft-start
Over current protection
장비안내 이 시스템은 각종 박막의 증착 과정 중, 박막의 표면에 high energy electron을 입사시키고, 반사되는 electron의 diffraction pattern을 분석하여 박막의 품질 및 두께에 대한 정보를 제공한다.

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