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공동활용 연구장비

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고해상도 장거리 이동 스테이지

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Single axis air-bearing stage

  • 모델명 HS NO 9013909000,XY200Z25AL
  • 제조사 Newport
  • 장비용도 기타
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 정밀기구시스템

상세정보

구축일자 2004-06-12
납품업체 Newport
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 1 광주과학기술원 고등광기술연구소 F4 402
구성및성능 1. type Pressure/depressure air bearing stage 2. travel length 1000 nm 3. load 10 kg
장비안내

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