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공동활용 연구장비

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Passive Device Characterization System

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Passive Device Characterization System

  • 모델명 AA-8000 with 8800
  • 제조사 Newport
  • 장비용도 기타
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 프로브스테이션

상세정보

구축일자 2004-08-30
납품업체 Newport
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 1 광주과학기술원 고등광기술연구소 F3층 301
구성및성능 1. 수동 소자의 특성 측정
장비안내 특징
1. 6 axis moving stage (resolution: 50nm) 2. CCD camera 3. Epoxy dispenser and UV light source 4. IR camera