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공동활용 연구장비

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인라인 스퍼터

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In Line Sputter System

  • 모델명 모델명 없음
  • 제조사 삼원진공
  • 장비용도 기타
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 스퍼터

상세정보

구축일자 2004-08-09
납품업체 삼원진공
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 1 광주과학기술원 신소재공학동 F5 506호
구성및성능
장비안내