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공동활용 연구장비

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자외선 레이저

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UV Laser

  • 모델명 Innova 305C
  • 제조사 우양
  • 장비용도 기타
  • 장비구분 화합물전처리/분석장비 > 분광분석장비 > 자외/가시광분광광도계

상세정보

구축일자 2001-10-12
납품업체 우양
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) _ _ 정보통신공학부 A동 F1 108
구성및성능 - UV Multiline: 333.6-363.8nm - UV Single Line: 363.8nm - 3.20W@514.5nm@Single Line - Optical Noise: 0.2% - Divergence: 0.5mrad - Beam Mode: TEM00
장비안내 Hologram Lithography란 빛의 상쇄 간섭 효과를 이용하여 반도체 및 각종 소자 등 제작시 패턴을 세기는 원리 중에 하나이다. 본 시스템은 DFB-레이저의 grating을 제작하는 연구를 위해 적합하도록 연구 개발된 장치로써 광간섭 효과를 이용하여 대량으로 손쉽게 균일한 회절격자를 제작할 수 있다는 장점을 가지고 있다.