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대학 자원

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공동활용 연구장비

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고해상도 장거리 이동 스테이지(part1)

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N-Point Nanopositioner

  • 모델명 XY200Z25A
  • 제조사 ㈜코썸사이언스
  • 장비용도 기타
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 정밀기구시스템

상세정보

구축일자 2003-12-30
납품업체 ㈜코썸사이언스
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 1 광주과학기술원 삼성환경과학연구동 F4 402
구성및성능 A. Feature 1. High resonance frequency 2. Fast response time 3. Noise level: nano scale 4. Hysterisis and Creep <0.01% 5. Kinematic Mounting design B. Components 1. Stage 2. Controller 3. Aperature Cap C. Specifications 1. Material: Aluminum 2. Size: 100x100x35 (mm) 3. Range: 200x200x25 (μm) 4. Resolution: X Y <1 nm Z <0.2 nm 5. Resonant Frequency: X Y > 350 Hz Z> 1600 Hz 6. Maximum Load: 1000 g D. Remark 1. Validity: Within 1 month
장비안내 알곤 레이저를 이용한 Long-length 광섬유 격자 제조시 phase mask의 이동을 정교하게 제어하기 위해 본 장비가 사용

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