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레이저증착시스템

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Laser Deposition System

  • 모델명 HV2P10051
  • 제조사 Jobin Yvon
  • 장비용도
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 달리분류되지않는반도체장비

상세정보

구축일자 2003-08-01
납품업체 Jobin Yvon
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 1 광주과학기술원 정보통신공학동 F1 108
구성및성능 구성및성능
1. 식각 시스템 장착 실시간 측정가능 2. 비접촉 광학적 측정 방식 3. 정밀도 : < 10 nm 4. 사용 파장 : 674.8 nm
장비안내 특징
본 장비는 반도체 식각시 식각깊이의 정보를 실시간으로 제공하는 장비이다. 장비 내부에서 발생한 레이저는 식각하는 샘플의 표면과 그 다음층 의 계면에서 각각 반사 되어 다시 장비로 입사된다. 입사된 두 레이저는 간섭무늬를 만들고 이로 인해 식각 깊이의 정보를 제공 할 수 있다.

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