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공동활용 연구장비

장비사진

이빔 나노 리소그래피 시스템

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E-beam Nano Lithography System

  • 모델명 FEI Sirion SEM ,
  • 제조사 FEI
  • 장비용도 기타
  • 장비구분 광학/전자영상장비 > 달리분류되지않는광학/전자영상장비

상세정보

구축일자 2003-09-15
납품업체 FEI
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 광주과학기술원 GIST대학 C동 F4 406
구성및성능 구성및성능
주사식 전자빔 현미경에 리소그래피 장비와 빔 블랭크를 장착하여 수십 nm의 해상도를 가지는 리지스트 패터닝이 수행가능하다.
“주사식 전자빔 현미경” 전자빔을 이용해서 광소자개발을 위한 반도체 공정 중의 하나인 리지스트 패터닝을 수행한다. 전자빔을 사용하기 때문에 미세 선폭을 가지는 구조물의 제작이 가능하다.
장비안내 특징
“주사식 전자빔 현미경” 전자빔을 이용해서 광소자개발을 위한 반도체 공정 중의 하나인 리지스트 패터닝을 수행한다. 전자빔을 사용하기 때문에 미세 선폭을 가지는 구조물의 제작이 가능하다.

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