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공동활용 연구장비

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유전층 코팅 시스템

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Dielectric Coating System

  • 모델명 SPSR3663C
  • 제조사 엘립소테크놀러지
  • 장비용도 시험
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 성형/가공장비 > 코팅기

상세정보

구축일자 2003-04-16
납품업체 엘립소테크놀러지
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 1번지 광주과학기술원 정보통신공학부 F1 108
구성및성능 1. Target(4 inch) : SiO2 TiO2 ITO 2. Power generator : 600W(Max. power) 3EA 3. Base Pressure : 3E-6 Torr 4. dual wavelength ellipsometer : 633nm 1550nm
장비안내 특징
본 잗비는 반도체 표면에 물질을 증착 할 수 있는 장비이다. Ion gun에서 나온 이온들이 증착하고자 하는 물질(target)을 때려서 나오는 타겟 물 질이 샘플 표면까지 확산되어 표면에 증착된다. 또한 dual wavelength ellipsometer를 이용하여 증착되는 물질의 두께를 정확하게 제어할 수 있 다.

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