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공동활용 연구장비

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Eximer laser compex205

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Eximer laser compex205

  • 모델명 Compex205
  • 제조사 Lambda Physik
  • 장비용도 분석
  • 장비구분 광학/전자영상장비 > 광파발생/측정장비 > 레이저발생장비

상세정보

구축일자 1998-06-23
납품업체 Lambda Physik
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 1 광주과학기술원 금호관 F2 204호실
구성및성능 ● Pulse Energy: 700 mJ (30 W) at 248 nm
● Max. Rep. Rate: 50 Hz
● Pulse Duration: 25 ns
● Energy Stability: 1% (1 sigma)
● Beam Dimension: 24 x 10 ㎟
● Beam Divergence: 3 x 1 mrad
● Electrical: 230V ±10% 16A 50/60 Hz switchable 1-Phase
● Dimension: 1682 x 375 x 793 ㎜³(L x W x H)
● Tube Material: NovaTube
장비안내 ▶ Laser annealing system의 High-pulse-energy laser 발생장치
● SiC wafer를 Laser anneal하여 Graphene 성장시킬 때 필요한 Laser 발생장치
● 화학기상분위기에서 Metal template위에 Graphene을 성장시킬 때 필요한 Laser anneal용

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