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공동활용 연구장비

장비사진

금속 박막 증착 장비

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Pfiffer Coating System

  • 모델명 PLS 500
  • 제조사 Pfeiffer Vacuum
  • 장비용도 기타
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 달리분류되지않는반도체장비

상세정보

구축일자 1997-12-30
납품업체 Pfeiffer Vacuum
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 1 광주과학기술원 신소재공학동 F9 902호
구성및성능 Electron beam gun : 전자빔을 생성 -depostion controller : 증착속도 증착 두께 등을 조절 -power supply : 전자빔을 생성하기 위하여 전압과 전류를 조절
장비안내 특징
전자빔을 이용하여 각종 금속을 박막으로 증착