Research Hub

대학 자원

대학 인프라와 자원을 공유해 공동 연구와 기술 활용을 지원합니다.

공동활용 연구장비

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반응성 이온 에칭/플라즈마 증진 화학기상증착기

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RIE/PECVD System

  • 모델명 PLASMA LAB80
  • 제조사 Oxford Instruments
  • 장비용도 시험
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 플라즈마기상화학증착장비

상세정보

구축일자 1995-05-08
납품업체 Oxford Instruments
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 정보통신공학부 A동 1층 108호 광주과학기술원 정보통신공학부 A동 F1 108
구성및성능
장비안내

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