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대학 자원

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공동활용 연구장비

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초고진공 화학기상증착 장치

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RPE-UHVCVD System

  • 모델명 12＂CFX250H
  • 제조사 제작사 없음
  • 장비용도 기타
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 플라즈마기상화학증착장비

상세정보

구축일자 1996-05-29
납품업체 제작사 없음
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 1 광주과학기술원 금호관 F2 203호
구성및성능
장비안내 활용분야
시료연구 환경조성, 진공상태의 유지

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