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레이저 인터페로미터

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Laser Interferometer

  • 모델명 5519A
  • 제조사 Agilent Technologies
  • 장비용도 기타
  • 장비구분 광학/전자영상장비 > 광파발생/측정장비 > 간섭계

상세정보

구축일자 1995-10-18
납품업체 Agilent Technologies
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 기전공학과 광주과학기술원 기전공학과 마이크로제조연구실
구성및성능 레이저 헤드와 인터페로미터 미러등을 이용한 Linea Angular 변위 및 피칭 요잉 등의 운동 오차 측정 가능. 분해능 1nm (Extend mode 사용시)
장비안내 레이저 광의 기준광과 측정 대상체의 이송을 인한 주파수의 변화로 나타나는 도플러 효과를 사용하여 변위 및 오차 측정. 레이저 광은 다른 광 에 비해서 단색광이며 지향성이 뛰어나고 휘도가 뛰어난 장점을 가지고 있다.

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