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공동활용 연구장비

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Mask Aligner

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Mask Aligner

  • 모델명 MJB3
  • 제조사 Karl Suss
  • 장비용도 기타
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 리소그래픽장비

상세정보

구축일자 1997-12-30
납품업체 Karl Suss
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 1 광주과학기술원 신소재공학동 F9 902호
구성및성능
장비안내 활용분야
Gan연구를 수행함에 있어 Mask상의 Pattern을 Photoesistor가 Coating 된 웨이터나 Substrate에 UV light Source를 이용하여 전사시키는 장비.