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공동활용 연구장비

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Metal Organic Chemical Vapour Deposition

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Metal Organic Chemical Vapour Deposition

  • 모델명 Discovery 125 (GON)
  • 제조사 EMCORE
  • 장비용도 기타
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 유기금속화학증착장비

상세정보

구축일자 1997-10-10
납품업체 EMCORE
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 1 광주과학기술원 신소재공학동 F9 902호
구성및성능
장비안내 활용분야
박막 성장시 metal Organic Compounds와 hydrides, 또는 다른 reactants들을 precursor로서 사용하여 열분해에 의해 박막을 성장시키는 장비.