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공동활용 연구장비

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Plasmalab system

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Plasmalab system

  • 모델명 Plasma Lab100
  • 제조사 Oxford Instruments
  • 장비용도 기타
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 식각장비

상세정보

구축일자 1997-10-15
납품업체 Oxford Instruments
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 1 광주과학기술원 신소재공학동 F9 902호
구성및성능 PECVD와 ICP를 가운데 lord lock을 매개로 하나로 묶어 놓은 것
장비안내 구성및성능
PECVD와 ICP를 가운데 lord lock을 매개로 하나로 묶어 놓은 것

활용분야
플라즈마를 이용한 화학기상 증착 및 식각장비