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공동활용 연구장비

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Surface Profiler

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Surface Profiler

  • 모델명 Alpha Step 500
  • 제조사 Kla-tencor
  • 장비용도 기타
  • 장비구분 물리적측정장비 > 길이/위치/자세측정장비 > 위치/자세측정장비

상세정보

구축일자 1997-12-30
납품업체 Kla-tencor
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 1 광주과학기술원 신소재공학동 F3 306
구성및성능 박막의 두께를 측정하는 장비
장비안내