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공동활용 연구장비

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전계방출형 주사전자현미경

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Field-Emission Scanning Electron Microscope(FE-SEM)

  • 모델명 SU8600
  • 제조사 Hitachi
  • 장비용도 분석
  • 장비구분 광학/전자영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경

상세정보

구축일자 2024-02-28
납품업체 Hitachi
위치 광주광역시 동구 필문대로 309 (서석동) 375 조선대학교 제2공학관 F1층 1213호
구성및성능 - 0.6nm guaranteed at 15kV(SE) or more 0.7nm guaranteed at 1kV(SE) or more
- 0.5 to 30kV or more, Cold cathode Field emission electron source
- Objective lens aperture, 3-stage electromagnetic lens reduction system
- Fully eucentric 5-axis motorized goniometer, Secondary Electron Detector(SED) x 2 or more
- Full range vacuum guage and lamps menus indication, Turbomolecular pump : 300L/s x 1 set or more, Ion pump = 60L/s x 1 set, 20L/s x 2 sets or more
- Low-angled BackScattered Electron(BSE
장비안내 전자빔을 이용하는 전자현미경으로써, 금속 고분자 세라믹 재료의 표면 및 박막두께 관찰, 바이러스 박테리아 등 생물시료 조직의 형태관찰, 후방산란전자를 이용한 이미지 분석, 제품의 기계결함 등 고장 분석, X-선을 이용한 재료의 화학성분을 정성정량분석을 하는 분석기기임.

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