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공동활용 연구장비

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초소형 진공 프로브 시스템

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Micro Porbe System

  • 모델명 MPS-LN
  • 제조사 (주)넥스트론
  • 장비용도 분석
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 프로브스테이션

상세정보

구축일자 2024-10-25
납품업체 (주)넥스트론
위치 광주광역시 동구 필문대로 309 (서석동) 375 조선대학교 제2공학관 F3층 3125호
구성및성능 1. 챔버
- 크기 : 140 mm x 70 mm x 25 mm(길이 x 너비 x 높이) 이하
- 챔버 내부 부피 : 100 cc 이하
- 챔버 내부 polishing : EP grade
- 챔버 커버 투광창 : 지름 2인치 사파이어 재질
- Signal feedthrough : UHV SMA feedthrough
- Power & sensor feedthrough : UHV subD feedthrough
- 가스 주입, 배기구 : 1/4 inch 튜브 피팅
- Leakage rate : 1 x 10-6 Torr L/s
- Distance to heater surface and bottom of sapphire window : 6.5mm
2. 마이크로 프로브
- Positioning type : x, Ɵ positioning
- 팁 재질 : Tungsten
- 팁 크기 : 100 마이크론
- 조절 범위 : 12 mm
- Positioner 용도 : UHV 용
- Positioner 갯수 : 4개
- Noise level : 10-12A
3. 샘플 스테이지
- 온도 조절 범위 : 80K ~ RT
- 온도 조절 : High speed PID방식, 정확도 ± 0.1 ℃
- Maximum cooling rate : 60 K/min
- 크기 : Ø15 mm
- Liquid nitrogen consumption : 1 L/Hr
장비안내 100cc 이하의 초소형 진공 챔버 내부를 진공 상태로 만들어 시료의 온도를 80K 에서 상온까지 ±0.1℃의
온도 정밀도를 유지하면서 4개의 개별적으로 포지셔닝 가능한 probe를 이용하여 전기적, 전기광학적
특성을 분석 할 수 있는 반도체 연구장비

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