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공동활용 연구장비

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자외선 진공 압력 시스템

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UV vacuum press system

  • 모델명 CITUS 6000SA
  • 제조사 기가레인
  • 장비용도 생산
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 프린팅장비

상세정보

구축일자 2025-01-18
납품업체 기가레인
위치 광주광역시 북구 첨단과기로208번길 50 (오룡동) 1110-10 조선대학교 첨단산학캠퍼스 본부동 F1층 MEMS공정실호
구성및성능 -Vacuum chuck : 4inch
-Chamber vacuum: 0.5 Torr
-Chamber vent: N2 or air
-Press loadcell: 15kN±0.2kN
-Press axis drive: 1.0kW/±0.01mm
-UV LED : Wavelength: 365nm
Intensity: 50㎽/㎠ (80% power)
Ø200mm face light source.
-Vacuum Dry Pump> 1,583 ℓ/min
- 구현가능 최소 패턴 Size : >100nm
- Uniformity < ±5%
장비안내 본 장비는 광경화성 수지(photoresist)를 기판 위에 도포한 후, 나노패턴이 새겨진 몰드를 압착하여 형상을 전사하는 기술임
이후 UV 광을 조사하여 수지를 경화시키고, 몰드를 제거하면 100 nm 급 해상도의 정밀한 나노패턴이 형성됨

스탬프의 사이즈에 영향을 받지 않으며 2인치 부터 4인치 크기의 기판까지 나노임프린트 공정이 가능함

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