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공동활용 연구장비

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엑스선회절분석기

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X-ray diffractometer

  • 모델명 X'Pert PRO
  • 제조사 Panalytical
  • 장비용도 시험
  • 장비구분 화합물전처리/분석장비 > 분광분석장비 > X-선회절분석기

상세정보

구축일자 2004-09-06
납품업체 Panalytical
위치 광주광역시 동구 필문대로 309 (서석동) 375 조선대학교 제2공학관 F1 1128
구성및성능 구성및성능
고분해능 X-선회절분석기 : goniometer high resolution x-ray mirror four crystal monochromator hybrid monochromator x-ray lens rocking curve and triple attachment thin film analysis attachment 다기능 X-선회절분석기 : goniometer normal resolution auto sampler X'Celerator detector monochromator parallel plate collimator high temperature system(max: 2000℃) low temperature system(min: -140℃)
장비안내 특징
고분해능 X-선회절분석기는 기준단결정 또는 beam condition에 의하여 입사 X-선 의 파장범위와 분산을 극도로 제한함으로써 피크의 반치폭이 0.0014°로 일반 X- 선회절분석기의 0.07°에 비해 분해능이 크게 향상된 X-선회절분석기로서 단결정의 결정성을 평가하거나 에피층의 격자변형 격자상수 조성 두께 변형률 표면 과 계면의 구조해석 재료의 잔류응력을 측정 하고 있다. Rocking curve를 이용하 여 반도체 초격자의 성장과 구조특성에 대한 분석 역격자 공간상의 역격자점 주위의 X-선 산란강도를 측정하고 있으며 X-ray 반사법을 이용하여 10nm전후의 박 막의 두께 표면의 거칠기 밀도등에 대한 분석을 하고 있다. 특히 고분해능 X- 선회절분석은 비파괴 분석이며 10-6정도의 높은 strain sensitivity를 갖는 큰 장점을 가지고 있다. 다기능 X-선회절분석기는 기존의 X-선회절분석기에서 할 수 있는 물질에 대한 정성·반정량 분석은 물론이고 2000℃까지 온도를 높여가면서 측정할 수 있는 Heating system과 영하 140℃까지 내릴 수 있는 Freezing system도 option으로 가지고 있어 기본적인 분석뿐만 아니라 고온과 저온에서 온도변화에 따른 결정의 성장과 상변화까지도 측정할 수 있다. 자원공학 재료공학 물리학 약학 치과 대학 금속공학 화학공학 고분자공학등 이공계 대부분의 학과와 산업체에서 다양한 연구목적에 맞게 활발하게 이용할수있다.

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