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공동활용 연구장비

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반도체검사기

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Manual Probe Station

  • 모델명 MST-5500B
  • 제조사 엠에스테크
  • 장비용도 분석
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 프로브스테이션

상세정보

구축일자 2025-11-12
납품업체 엠에스테크
위치 광주광역시 북구 용봉로 77 전남대학교 용봉캠퍼스 공과대학 6호관 B1층 B005-1호
구성및성능 6인치 진공 척(50 fA 이하), X/Y/Z 정밀 스테이지, 최대 90× 현미경, 4K CCD 카메라, 1 µm 분해능 포지셔너 및 Triaxial 홀더, 진공펌프, 다크박스, 핫척, 프로브 팁 및 Fiber holder 등으로 구성된 통합 반도체 소자 측정 시스템
장비안내 6인치 웨이퍼 기반의 반도체 소자 전기적 특성 측정을 위한 초저누설 수동 프로브스테이션. 50 fA 이하 누설 전류 특성을 갖는 진공 척과 고배율 현미경·4K CCD 영상 모듈을 구비하고 있으며, 정밀 포지셔너와 Triaxial 케이블을 통해 미세 전류·IV/CV·펄스 신호 등의 정밀 계측이 가능한 시스템.

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