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공동활용 연구장비

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반도체검사기

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Semiconductor measurement setup

  • 모델명 VPX-77KD
  • 제조사 주식회사 위트
  • 장비용도 시험
  • 장비구분 전기/전자장비 > 측정시험장비 > 달리분류되지않는측정시험장비

상세정보

구축일자 2025-11-05
납품업체 주식회사 위트
위치 광주광역시 북구 용봉로 77 전남대학교 공과대학 6호관 219호 전남대학교 F2층 219호
구성및성능 – Frame Size (mm) : 750(W) * 750(D) * 1600(H)
- Vacuum Chamber Size : 220 (Dia.) * 200(H)
- Vauum Level : 10-6 Torr
- Temperature Range : 78 K ~ 400 K
- Chuck Size : 40 mm
- PID Contorl Vacuum Feedthrough : 12 pins
- Vacuum chamber capable of mounting : 6 positioners
- Below 80K Temperature holding time : more than 8 hours
- Precise cryogenic temperature stability: ±0.5 ℃
- Sensor for precise temperature control: PT-100
장비안내 본 장비는 저진동 펌핑 연결부를 통해 진동 잡음을 효과적으로 차폐하고 외부에서 광원을 조사할 수 있는 챔버 시스템으로 저차원 소자에서 외부 광원과 온도에 따른 미세 특성 변화 및 소자의 전기적 특성을 계측하여 분석하고자 하는 실험이 목적을 지닌다. 극저온에서 내구성 있는 PT-100 센서 및 저온 스테이지 설계, DC Input (12~24V/10A), Biopolar Output (0~21V/±10A) 제어 방식 적용으로 척 온도를 ±0.05 ℃ 이내로 정밀하게 제어하여 나노 소자의 전기적 특성과 온도와의 상관관계를 다년간 반복적 사용이 가능한 시스템이다. 안정적인 전기적 계측 및 다양한 온도에서 활용될 수 있을 뿐더러, 진공 챔버와 액화질소용기 일체형 초미세 진공 액화질소 수송관 설계를 통해 온도를 냉각 시킴으로써 극저온에서 ±0.05 ℃ 이내로 온도를 제어할 수 있고 80 K 이하의 극저온에서 8 시간 이상의 온도를 유지할 수 있는 시스템으로 설계 되었다. 진공 챔버와 액화질소용기 일체형 초미세 진공 액화질소 수송관 시스템은 기존 액화질소 주입형 저온 시스템에서 문제가 되었던 온도 편차 문제를 해결하였다.

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