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대학 자원

대학 인프라와 자원을 공유해 공동 연구와 기술 활용을 지원합니다.

공동활용 연구장비

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진공증착기(급속열처리장치)

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Rapid thermal anneal system

  • 모델명 KVT-RTA
  • 제조사 코리아바큠테크㈜
  • 장비용도 교육
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 전자빔증착기

상세정보

구축일자 2025-12-18
납품업체 코리아바큠테크㈜
위치 광주광역시 북구 용봉로 77 산학협력공학관 205호 전남대학교 F2층 205호
구성및성능 ◯ Process chamber unit
◯ Vacuum pumping unit
◯ Substrate heating unit
◯ Gas supply unit
◯ Vacuum gauge controller
◯ Manual pressure control unit
◯ Utility(FRAME & CONTROL BOX)
장비안내 ◯ 다양한 분위기 조건에서 실리콘 웨이퍼 고온 가열 가능
◯ 낮은 소모 비용도
◯ 첨단 반도체 제조 응용 분야에 필수적인 온도 제어 기능 보유

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