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공동활용 연구장비

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진공증착기(스퍼터)

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Sputter

  • 모델명 DS2002
  • 제조사 다다코리아
  • 장비용도 교육
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 스퍼터

상세정보

구축일자 2025-12-18
납품업체 다다코리아
위치 광주광역시 북구 용봉로 77 산학협력공학관 205호 전남대학교 F2층 205호
구성및성능 ◯ 표준
- PROCESS CHAMBER 1 SET
- LOADLOCK CHAMBER UNIT 1 SET
- VACUUM PUMPING UNIT 1 SET
- SUBSTRATE UNIT 1 SET
- MAGNETRON SPUTTERING SOURCE 3 SET
- VACUUM GAUGE CONTROLLER 1 SET
- GAS SUPPLY UNIT 1 SET
- R.F POWER SUPPLY 1 SET
- D.C POWER SUPPLY 2 SET
- AUTO PRESSURE CONTROL UNIT 1 SET
- FRAME & SYSTEM CONTROL UNIT 1 SET
◯ 부속품
- MAIN POWER: 220v, 50A, 3PHASE
- PCW: 1~2Kgf/cm2, 1/2“Swagelok
- CDA: 6~7Kgf/cm2, 6mm dia One-touch
- PROCESS GASES WITH REGULATOR
- SPUTTERING TARGET
장비안내 ◯ RF(radio frequency) 및 DC(direct current) 증착을 통해 고진공 환경 속에서 다양한 소재 증착 가능
◯ 금속, 산화물, 세라믹 등 다양한 물질의 박막(수 십~ 수 백 nm의 매우 얇은 물질층) 제조 가능
◯ 조각 시편부터 4인치 웨이퍼 크기의 기판까지 다양한 크기에 증착이 가능

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