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공동활용 연구장비

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진공증착기(유기진공열증착기)

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Thermal evaporator

  • 모델명 JVEVA-F30k3p
  • 제조사 제이벡
  • 장비용도 교육
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 열증착기

상세정보

구축일자 2025-12-19
납품업체 제이벡
위치 광주광역시 북구 용봉로 77 산학협력공학관 205호 전남대학교 F2층 205호
구성및성능 ◯ Process Chamber : 1식
◯ Substrate : 1식
◯ Evaporation source : 1식
◯ High vacuum pumping : 1식
◯ Vacuum guage & Thickness monitor : 2식
◯ Control : 1식
◯ Utility(Main frame) : 1식
장비안내 ◯ 금속 및 유기화합물을 고진공 환경에서 증착하여 소자 제작 가능
◯ OLED, 태양전지(Solar-cell), 유기 소자의 전극 및 절연층, 유기반도체 액티브 레이어 등 제조 가능
◯ 유기 전계 효과 트랜지스터, 유기 전기화학 트랜지스터 소자의 소스/드레인 전극 형성 및 다중 타켓 열 증착 가능
◯ PLC를 이용한 자동제어로 간단한 조작과 빠른 속도의 진공 분위기 생성 가능
◯ 편리한 조작 및 빠르고 정확한 파워 제어로 정확하고 균일성 높은 증착 가능
◯ 증착률 및 증착 두께를 실시간으로 측정하여 증착 재료 손실을 줄이고 정확한 두께의 증착이 가능

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