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공동활용 연구장비

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반도체검사기(진공프로브스테이션)

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Vacuum Chamber Analyze Measure Probing system

  • 모델명 M6VC
  • 제조사 엠에스테크
  • 장비용도 교육
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 프로브스테이션

상세정보

구축일자 2025-12-22
납품업체 엠에스테크
위치 광주광역시 북구 용봉로 77 공과대학 6호관 322호 전남대학교 F3층 322호
구성및성능 ◯ 표준
- Vacuum Chamber Main body unit
- Microscope
- CCD Camera Precision_4K
- Vacuum High positioner body unit_PBC400
- Positioner holder : PH-VC156 fA leakage Current
- Fiber Holder Unit
- Probe Tip – M5BGC
- MBG25_Ceramic Gold Back gate
- Vacuum pump & Gauge System
- MSP4_Plate Pannel
- Main Frame & Vibration Table _Rack Top
- System Rack_1400
- AVR(Automatic Voltage Regulator)
◯ 부속품
- TS1_Test Sample_IV, CV, 4 point, TR, Diode, Resister
장비안내 ◯ 반도체 파라미터 분석기와 결합하여 반도체 재료의 물성 측정과 반도체 소자의 성능 측정, 평가 및 분석 가능
◯ 고정밀급(반도체 재료 및 소자의 전기적 물성) 측정 가능

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