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공동활용 연구장비

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레이저현미경(삼차원표면분석기)

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3-dimensional Surface Profiler

  • 모델명 VK-X3000
  • 제조사 KEYENCE
  • 장비용도 교육
  • 장비구분 광학/전자영상장비 > 현미경 > 공초점현미경

상세정보

구축일자 2025-12-05
납품업체 KEYENCE
위치 광주광역시 북구 용봉로 77 공과대학 6호관 705호 전남대학교 F7층 705호
구성및성능 ◯ 레이저 현미경 컨트롤러: 레이저 현미경 헤드와 호환 가능할 것
◯ 레이저 현미경 헤드(아래 규격과 동등 성능 또는 그 이상)
- Light Source: 백색LED와 반도체 레이저 사용
- 측정 방식: 다양한 영역대(mm,um,nm) 대응을 위한 측정방식 지원(3가지 이상)
- Z축 분해능: 0.05nm 이하
- 최대 측정 배율: 28,000배 이상
- 최고 측정 속도: 120Hz 이상
- X, Y 스테이지: 전동 스테이지 지원
- 틸팅 스테이지: 수평 조절용 틸팅 스테이지 지원
- 표면 거칠기 측정: ISO 기준에 따른 측정 가능
- 렌즈 배율: 150배 렌즈 장착 지원
◯ 측정 소프트웨어(아래 규격과 동등 성능 또는 그 이상)
- 표준 소프트웨어
‧ 측정 툴: 자동측정 기능 지원
- 연결 측정 소프트웨어
‧ 데이터 출력: 엑셀 및 CAD 추출 기능 지원
‧ 리포트 출력: 리포트 양식 출력 기능 지원
◯ 보조장치(아래 규격과 동등 성능 또는 그 이상)
- 구동용 PC
‧ Windows 10 Pro 이상
‧ RAM 16GB
‧ HDD 2TB
‧ SSD 512GB 이상
- 모니터: 24인치 이상, LED
- 제진대
‧ TYPE: PNEUMATIC ISOLATION SYSTEM
‧ 3 AUTO LEVELING VALVE
‧ NATURAL FREQUENCY OF SYSTEM: (V)1.2~1.5Hz, (H)1.5~1.7Hz
‧ LEVELLIG REPEATABILITY: ±0.05~0.1mm
‧ 재질: ALL STAINLESS STEEL
‧ 외곽 Size: 855*755mm
‧ 정반 Size: 800*700mm
- 워크테이블
‧ Size: 1,000*700*750h
‧ 재질: SUS
‧ 상판: 타공
장비안내 ◯ 레이저 광원을 이용해 비접촉식으로 측정 가능한 현미경
- 시료의 3차원 구조 재현
- 시료의 거칠기 분석 및 면적 계산 가능
- 자동 시스템으로 모든 작동은 소프트웨어를 이용하여 조정 가능
- HDR 모드를 통한 고품질 이미지 제공
- Film 두께 측정 가능

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