Research Hub

대학 자원

대학 인프라와 자원을 공유해 공동 연구와 기술 활용을 지원합니다.

공동활용 연구장비

20250324000000291139.jpg

밀폐형 글러브박스 통합 건식증착 시스템

상담·문의하기

Enclosed integrated glovebox dry deposition system

  • 모델명 KEADD150C
  • 제조사 (주)고려기연
  • 장비용도 시험
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 열증착기

상세정보

구축일자 2025-03-14
납품업체 (주)고려기연
위치 광주광역시 북구 용봉로 77 공과대학 4호관 전남대학교 F4층 418호
구성및성능 1. 글러브박스(Glove Box)
-최고 진공도: 1.0 x 10-3 Torr 이하
- 글로브박스 용기 내부 수분량 : 0.1 ppm 이하
- 글로브박스 용기 내부 산소량 : 0.1 ppm 이하
- 산소 센서 측정 범위 : 0 ~ 1000 ppm
- 수분 센서 측정 범위 : 0 ~ 1000 ppm

2. 열 증착기 (Therrmal Evaporator System)
- 진공 챔버 내부 최고 진공도 : 1.0 * 10-8 Torr 이하
- 진공 챔버 내부 공정 진공도 : 1.0 * 10-6 Torr 이하
- 증착 균일도 : +/- 1 % 이하 균일도 (150mm * 150mm Glass 기준)
- 챔버 크기: 450(W) mm x 450mm(D) x 550(H) mm
- 샘플 회전 가능 30 rpm
- 증착 가능 물질: Ag, Au, Al, MoO3, C60 등

3. 원자층 증착기 (ALD System)
-기판(substrate) 사이즈: 100mm x 100mm
- Cycle Time: 10sec/Cycle 이하
- Growth Per Cycle: 1.2Å/Cycle 이하
- Deposition Rate: 10Å/min 이상 (Ref, Al2O3)
- 증착 가능 물질: SnO2, Al2O3
장비안내 1) 본 장비는 태양전지소자 및 반도체 등 다양한 유무기 재료 개발 목적에 따라 3인용 Glovebox (6P)를 이용하여 수분 및 산소를 차단 할 수있는 박스 내부에 Perovskite 믈질 및 Metal 전극 물질 증착 가능한 Evaporator System 과 열 원자층증착이 가능한 ALD (Atomic Layer Deposition) System이 내부에 장착되는 통합 건식증착 시스템으로 구성되어 있다.
2) 산소-수분에 취약한 소재 공정, 개발, 연구를 위하여 산소-수분이 제어된 질소 또는 아르곤 환경의 초정정 용기 내에서 공정이 가능하다.
3) 대기 중에 있는 수분, 산소 등의 불순물들을 초고진공상태로 만들어 제거한 후, 고청정 용기 안에서 원하는 다양한 재료를 고전압으로 가열하여 열증착을 활용한 Ag, Al, Au 등의 전극물질 및 원자층증착으로 SnOx, Al2O3 와 같은 물질에 대한 증착이 가능하다.

목록보기