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공동활용 연구장비

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프로브 스테이션(MST-4000A)(4)

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Probe station

  • 모델명 MST-4000A
  • 제조사 엠에스테크
  • 장비용도 교육
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 프로브스테이션

상세정보

구축일자 2024-12-24
납품업체 엠에스테크
위치 광주광역시 북구 용봉로 77 공과대학5호관 119호 전남대학교 F1층 119호
구성및성능 ◯ Low Noise leakage current : ~ 10fA 이하 보증
◯ Stage type : 6 inch 또는 동등성능이상
◯ Stage dimension : 460(w) x 380(d) x 150(h)mm 또는 동등성능이상
◯ Microscope magnification : 90x 또는 동등성능이상
◯ CCD Camera pixel : 4K 또는 동등성능이상
◯ Positioner travel axis : X/Y/Z axis 또는 동등성능이상
◯ Dark Shield Box size : 700(w)x700(d)x800(h)mm 또는 동등성능이상
◯ Down Table size : 940(w)x760(d)x800(h)mm 또는 동등성능이상
◯ Probe tip : Gold-Tungsten 또는 동등성능이상
◯ Probe tip Diameter : 10µm 또는 동등성능이상
장비안내 ◯ 반도체 칩의 전기적 특성을 분석
◯ 형태가 특정되어 있지 않은 다양한 형태의 기판 분석 가능

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