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대학 자원

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공동활용 연구장비

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프로브스테이션(MST-4000A)(5)

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Probe station

  • 모델명 MST-4000A
  • 제조사 엠에스테크
  • 장비용도 교육
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 프로브스테이션

상세정보

구축일자 2024-12-24
납품업체 엠에스테크
위치 광주광역시 북구 용봉로 77 공과대학6호관 705호 전남대학교 F7층 705호
구성및성능 ○ Low Noise leakage current : ~ 10fA 이하 보증
○ Stage type : 6 inch 또는 동등성능이상
○ Stage dimension : 460(w) x 380(d) x 150(h)mm 또는 동등성능이상
○ Microscope magnification : 90x 또는 동등성능이상
○ CCD Camera pixel : 4K 또는 동등성능이상
○ Positioner travel axis : X/Y/Z axis 또는 동등성능이상
○ Dark Shield Box size : 700(w)x700(d)x800(h)mm 또는 동등성능이상
○ Down Table size : 940(w)x760(d)x800(h)mm 또는 동등성능이상
○ Probe tip : Gold-Tungsten 또는 동등성능이상
○ Probe tip Diameter : 10μm 또는 동등성능이상
장비안내 ○ 반도체 칩의 전기적 특성을 분석
○ 형태가 특정되어 있지 않은 다양한 형태의 기판 분석 가능

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