Research Hub

대학 자원

대학 인프라와 자원을 공유해 공동 연구와 기술 활용을 지원합니다.

공동활용 연구장비

20241210000000287541.jpg

반도체검사기(프로브스테이션_MST-3000A)(2)

상담·문의하기

Probe station

  • 모델명 MST-3000ADDT
  • 제조사 엠에스테크
  • 장비용도 교육
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 프로브스테이션

상세정보

구축일자 2024-11-21
납품업체 엠에스테크
위치 광주광역시 북구 용봉로 77 산학협력공학관 지하 전남대학교 B1층
구성및성능 - Stage type : 4 inch
- Stage dimension : 543(w)x420(d)x6(t)mm
- Microscope magnification : 200x
- CCD Camera pixel : 4K
- Positioner travel axis : X/Y/Z axis
- Dark Shield Box size : 550(w)x550(d)x480(h)mm
- Down Table size : 550(w)x550(d)x910(h)mm
- Probe tip : Gold-Tungsten
- Probe tip Diameter : 10µm
- LCR Meter : 20Hz to 1MHz
- LCR Meter : DCR 포함
장비안내 ○ 반도체 칩의 전기적 특성을 분석
○ 형태가 특정되어있지 않은 다양한 형태의 기판 분석 가능

목록보기