| 구성및성능 |
- 공정챔버(SUS304), 아래 규격 동능성능 혹은 이상
. Front door, 시창, 내부쉴드카바,전해연마
Wall water cooling jacket, Pt PMMA Lift-off
공정용 내부 설계
- 진공배기장치, 아래 규격 동능성능 혹은 이상
. Turbo pump (1100 l/s 이상)
. Backing pump (600 l/m 이상, No tip-seal
replacement, air cooling)
. Gate valve (metal bonnet)
. Turbulence free pumping and vent
- 기판장치, 아래 규격 동능성능 혹은 이상
. 4", Heating, 가감속 회전 및 공압셔터
. 방위각회전 장치 (각도조절 180도 및 0.02도 단위 컨트롤 가능)
- 고진공 및 저진공 측정장치, 아래 규격 동능성능 혹은 이상
. Wide range vacuum transducer
. Automatic filament control, set point relay
- 전자빔소스, 아래 규격 동능성능 혹은 이상
. Telemark 6 pocket 7cc crucible,
270° e-beam deflection, Shutter (공압)
- Auto crucible indexer, 아래 규격 동능성능 혹은 이상
. Speed control and remote PLC operation
- E-beam power supply, 아래 규격 동능성능 혹은 이상
. 6kW (-8kV / 750mA)
. Response time : <50 microsecons
. 안전기능 자체프로그램 내장 :
아크인식카운터, 내부온도 과열차단, 비정상전류
전압출력 인터락 차단 강제종료, 에러메세지저장
- XY Sweep controller, 아래 규격 동능성능 혹은 이상
. 24 type wave shape programmable
- 박막두께 자동증착 제어장치, 아래 규격 동능성능 혹은 이상
. Frequency resolution : ±0.012Hz
. Multi-layer deposition Labview control
- 프레임, 아래 규격 동능성능 혹은 이상
. SS41 + 분체도장, Foot & caster
. 19" Standard Rack cabinet
- GUI 시스템제어장치, 아래 규격 동능성능 혹은 이상
. 산업용 PC ( Intel i7, 16GB RAM, SSD 256GB, Window10 Pro,
절연형보드, 17“LED IPS type LCD Monitor
. Software : Labview 8.5 이상
. Programming : Data log./real or historical trend,
Recipe selection, Temp. control and monitor,
Pressure monitoring, Cycle process function,
Partial running function, Safety alarm,
. PLC Module (High speed, noise isolation)
- 유틸리티 안전 인터락 제어 시스템
- EMO, 아래 규격 동능성능 혹은 이상
* 시스템 연결 유틸리티 사양
- 전원 : 220V, 3P, 50A
- 압축공기 : 6~7 kgf/cm2
- Vent 가스 (N2) : 1~2 kgf/cm2 Regulator
- 진공펌프 배기구
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