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공동활용 연구장비

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전자빔 리소그래피 시스템

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Electron beam lithography system

  • 모델명 AIS2500C
  • 제조사 새론테크놀로지
  • 장비용도 시험
  • 장비구분 광학/전자영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경

상세정보

구축일자 2024-12-16
납품업체 새론테크놀로지
위치 광주광역시 북구 용봉로 77 광주광역시 북구 용봉로 77 (전남대학교) 기초과학특성화과학관 A동 810호 전남대학교 F8층 810호
구성및성능 규격 : 주사전자현미경
모델명 : AIS2500C
제조사 : 새론테크놀로지
Electron Optic System
- resolution : 2nm @ 30kV SE
- Magnification : 10 X ~ 1,000,000 X
- Image : Secondart eletron image
- Accelerating Voltage : 0.6 kV ~ 30 kV
장비안내 전자빔 리소그래피 시스템 및 주사전자현미경(SEM)
주사전자현미경은 가속된 2차 전자를 물체에 부딪혀서 원하는 상을 보기 위해 전자를 포집하여 고배율의 표면상을 분석하는 영상 획득 기기이다.
전자총은 캐소드에서 전자를 방출시켜서, 전자빔을 형성한 후, 이를 집속하여 최종적으로 시료에 도달할 수 있도록 가속시키는 역할을 한다.

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