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대학 자원

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공동활용 연구장비

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스핀코터

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Spin Coator

  • 모델명 SPIN-3000BD
  • 제조사 마이다스시스템(주)
  • 장비용도 교육
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 성형/가공장비 > 코팅기

상세정보

구축일자 2024-03-12
납품업체 마이다스시스템(주)
위치 광주광역시 북구 용봉로 77 산학협력공학관 F2층 205 전남대학교 F2층 205호
구성및성능 - Touch Panel Control System
- Chuck spin speed : 300~7000 rpm ±3 % (@ No load )
- Programmable Coating System : 50 steps, 50 Recipes (Save & load)
- Time : 0.1~99.9 sec (Programmable)
- Bowl size : 12 inch
- Sample size : Piece ~ 6 inch wafer
- BLDC servo Motor / SUS Main Body
- Acceleration / Deceleration rates : Variable Time (0.1 sec step)
- Dimension : 390 (W) x 570 (D) x 310 (H) mm
장비안내 - 반도체 제조 공정 가장 중요한 공정인 포토리소 공정에서 감광액을 웨이퍼의 표면에 코팅하기 위한 장비
- 포토리소그라피 공정에서 가장 기본이 되는 장비

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