Research Hub

대학 자원

대학 인프라와 자원을 공유해 공동 연구와 기술 활용을 지원합니다.

공동활용 연구장비

20240802000000284532.jpg

표면처리기

상담·문의하기

Asher

  • 모델명 PS-150
  • 제조사 (주)플라솔
  • 장비용도 교육
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 트랙장비

상세정보

구축일자 2024-07-24
납품업체 (주)플라솔
위치 광주광역시 북구 용봉로 77 산학협력공학관 205호 전남대학교 F2층 205호
구성및성능 ◯ 진공챔버
- 치수: W.150 x D.200 x H.140mm
◯ 플라즈마 소스
- 주파수 50kHz, 최대 파워 200W
◯ 유량 제어
- 공정가스 O2, MFC (Max. 100sccm)
- Vent 유입구 1/4“ Lock Fitting
◯ 컨트롤러
- 인터페이스: 10.1” Touchscreen
- 공정타이머: 1S~30min
- 레시피 저장 및 공정 그래프
◯ 전기사양
- 210-250 VAC, 50~60Hz
장비안내 - 반도체 8대 제조공정에서 웨이퍼 표면을 플라즈마로 처리하여 PR 잔막 등 클리닝을 수행하는 장비.
- 산소, 아르곤, 질소 등의 가스를 이용.
- 이외에 2차원물질 패터닝 등에 응용될 수 있음.

목록보기